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    工程案例 >>超纯水系统-多晶硅用水
处理规模:25m3/h
处理流程:多介质-超滤-两级反渗透-水箱-185μUV-膜脱气-EDI-抛光阴床-氮封水箱-254μUV-二级抛光混床
               -0.2μ微滤-终端0.05微滤-用水回路
产水品质:符合ASTM D5127-2007 E1.1要求
产品用途:电子级多晶硅材料生产用水
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